Techniky nanometrologie

Jak je patrné z těchto stránek, nejrozšířenějším nástrojem v oboru nanometrologie jsou různé metody rastrovací mikroskopie (SPM - scanning probe microscopy). Z široké rodiny těchto metod vybíráme hlavní, které mají v současnosti patrně největší potenciál v oboru kvantitativních měření:

• AFM - Atomic force microscopy - mikroskopie atomárních sil
• STM - Scanning tunneling microscopy - rastrovací tunelovací mikroskopie
• MFM - Magnetic force microscopy - mikroskopie magnetických sil
• EFM - Electric force microscopy - mikroskopie elektrostatických sil
• C-AFM - Conductive AFM - mikroskopie lokální vodivosti
• KPFM - Kelvin probe force microscopy - mikroskopie s Kelvinovou sondou
• SCM - Scanning capacitance microscopy - rastrovací kapacitní mikroskopie
• SThM - Scanning thermal microscopy - rastrovací termální mikroskopie
• SNOM - Scanning near-field optical microscopy - rastrovací optická mikroskopie v blízkém poli

Kromě těchto metod využíváme také techniky nanoindentace, mikroindentace a vrypové zkoušky, které sice neposkytují tak velké prostorové rozlišení, ale jsou schopny provádět měření sil a mechanických vlastností s mnohem vyšší přesností.

(c) CMI 2012