Měření drsnosti
V oboru drsnosti se zaměřujeme na charakterizaci povrchů s velmi malou drsností (Rq < 100 nm), pro větší drsnosti
je možné využít služeb oddělení drsnosti a tvrdosti.
Typickými povrchy, u kterých je vhodné využít metody nanometrologie, jsou antireflexní vrstvy na optických součástkách,
součásti polovodičových zařízení a různé speciální vysoce leštěné výrobky. Vzhledem k tomu, že provádíme 3D analýzu
povrchu s vysokým rozlišením (nikoliv jen měření profilů hrotem o velkém poloměru), je možné data interpretovat
mnoha způsoby, nejen na základě norem pro měření drsnosti dotykovým profilometrem.
V ose z není měření drsnosti zdola omezeno žádnou hodnotu (mikroskop může pozorovat i atomární drsnost), shora
je omezeno rozsahem minimum-maximum cca 10 mikrometrů, v laterárním směru jsou měřitelné prostorové frekvence
omezeny maximální měřenou plochou, která je u standardních měření 100 mikrometrů, u speciálních měření může být
až centimetr.
|
