Měření drsnosti

V oboru drsnosti se zaměřujeme na charakterizaci povrchů s velmi malou drsností (Rq < 100 nm), pro větší drsnosti je možné využít služeb oddělení drsnosti a tvrdosti.

Typickými povrchy, u kterých je vhodné využít metody nanometrologie, jsou antireflexní vrstvy na optických součástkách, součásti polovodičových zařízení a různé speciální vysoce leštěné výrobky. Vzhledem k tomu, že provádíme 3D analýzu povrchu s vysokým rozlišením (nikoliv jen měření profilů hrotem o velkém poloměru), je možné data interpretovat mnoha způsoby, nejen na základě norem pro měření drsnosti dotykovým profilometrem.

V ose z není měření drsnosti zdola omezeno žádnou hodnotu (mikroskop může pozorovat i atomární drsnost), shora je omezeno rozsahem minimum-maximum cca 10 mikrometrů, v laterárním směru jsou měřitelné prostorové frekvence omezeny maximální měřenou plochou, která je u standardních měření 100 mikrometrů, u speciálních měření může být až centimetr.


(c) CMI 2012

Novinky

Zveme vás na Seminář o metodách blízkého pole.

Snímek měsíce


Atomární schodky na Si

Kontakt

Oddělení primární nanometrologie a technické délky
Český metrologický institut
Okružní 31, 638 00 Brno
pklapetek(at)cmi.cz